内容简介:我国电子特气行业客户认证、资金人才等壁垒均较高 鼓励类政策正持续出台 2024-07-16 09:08 分享 手机浏览 电子特气,简称电子特气,是指用于半导体、显示面板、光伏、LED及其它电子产品生产过程的特种气体。 电子特气主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节,主要分为三氟化氮等清洗气体、六氟化钨等金属气相沉积气体等。 电子特气主要应用及类别 应用行业 主要用途 主要气体...
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